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製品の紹介
素と窒素の混合ガス
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項目 |
指標 |
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氟（F2）含量（體積分數） |
（5—20） |
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氮氣 窒素（體積點數）% |
（95—80） |
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氧 酸素（體積點數）% |
≤0.08 |
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四氟化碳 四フッ化炭素（體積點數）% |
≤0.03 |
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氟化氫 フッ化水素（體積點數）% |
≤0.50 |